产品属性
超大台面曝光机规格参数
项 目 内 容
规 格
备注
有效曝光面积
1800mm*1500mm
材料厚度
0.2mm～1mm
台面高度
800mm
工作模式
单面曝光
台面真空度
0～-600KPa
底片安装
真空吸附（真空度>-750Kpa）
框架重合精度
±5um
CCD对位精度
底片对产品±15um
产品MARK可识别
曝光光源
LED光源
均匀性85%以上
平行半角
小于2度
无倾斜角
空压
6～7Bars 1.5m3/min
入口直径10mm
冰水需求
14L/min ,进出口压差0.5Bars以上
接口直径DN20
电力需求
3相380VAC 10KVA(峰值)
3相5线制4平方
设备尺寸
L4500*H1900*W1860
外围保证500mm的维修空间
1，在线申请：您可以在"我的订单"中找到您需要退换修的订单，点击”申请退款/退货”即可。我们的工作人员会在2个工作日 内和您取得联系，你可以随时在线查看你的退换修状态。
1，“7天无理由退换货”适用于买家在收到货品后因不满意货品希望退换货的情形。
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3，退换货要求退换的商品在平台供应商收到时有完整的外包装、配件、标牌等；待退换的物品被用过、人为破坏或标牌拆卸的不予退换。
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4，退货商品的价款到账时间因支付方式的不同而有所差异，具体应参照相关银行或支付工具的说明提示，平台供应商不对退换货费用的到账时间做任何形式的保证。
特别提醒：为避免由于商品滞留造成的经济损失，所有退换货商品，买家应在所规定之时间内发回（以物流签收时间次日起7天内为准），超过规定时间仍不能将退换商品发出的，平台供应商将不予接受该退换货商品。