SC100-DE匀胶显影机
SC100-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作，又可用于半导体显影和清洗的台面式设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保匀胶和显影的稳定性和极高的可重复性。
主要性能指标：
- 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
- 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
- 转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）
- 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
- 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
- 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
- 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
- 支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圆晶）
- 标准配置两路喷液系统（显影液和去离子水）
产品特性优点：
- 主机在SC100-SE匀胶机上升级，增加耐腐蚀高分子材料防溅式罩盖
- 全程序编辑功能，更方便的智能化操作，更好的显影/清洗效果
- 可实现最多独立四路喷液用于显影/清洗工作，或进行氮气吹干
- 控制器可实现程序自动控制喷液或进行手动操作，使用更加方便
- 显影系统可进行喷雾式、柱流式多种选择，视要求进行配置
- 提供客户定制化的显影系统配置和工装设计
- 高可靠性和重复性，高转速精度和更高转速可选
- 可添加去边胶和背胶清洗功能
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