高纯水，超纯水(high-purity water,ultra-high purity water)是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%，其中杂质含量低于0.01mg/L。将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
反渗透加EDI技术，属当今世界上最先进的脱盐技术，在电子、医药等行业水质净化、清洗、水质纯化以及废水处理有着广泛的应用。
电子工业超纯水设备主要用途：
电子工业超纯水设备主要用于微电子产品生产用高纯水，半导体、显象管制造业用超纯水，集成电路板生产清洗用超纯水，蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池等生产用纯水，高纯水，超纯水的制备。
例如，在电子工业方面，可以作为线路板清洗用超纯水的处理设备，与其它技术诸如电渗析、离子交换和蒸馏相比，具有能耗低、脱盐率高、除菌能力强和操作简单、维护方便的特点，大大节省了运行、维修成本。
●一、应用范围概述：
微电子行业:电解电容器生产、电子管生产、显像管和阴极射线管生产、黑白显像管荧光屏生产、液晶显示器的生产、晶体管生产、集成电路生产、电子新材料生产；
化学化工：超纯化学试剂生产化工新材料生产；
其它：贵金属冶炼、磁性材料生产、电子级无尘布生产、光学材料生产等；
●二、典型工艺流程
1 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥18MΩ.CM）
2预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯水箱－纯水泵－EDI装置－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥15MΩ.CM）
3 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥12MΩ.CM）(最新工艺)
●三、标准参考
显像管、液晶显示器用纯水水质
集成电路用纯水水质
国家电子级纯水标准
●四、设备特点
超纯水设备具有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和运行可靠性。