西安绿山半导体科技代理日本植绒精抛垫；
用途 (FOR USES) ： CMP
物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )
项目 | 重量 | 厚度 | 密度 | 压缩率 | 弹性率 | 硬度 | 绒长 | 开口径 |
单位 | g/m2 | mm | g/m3 | % | % | Asker C | μm | μm |
测定值 | 539 | 1.54 | 0.35 | 2.9 | 70 | 60 | 570 | 50 |
TEST METHOD | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- L1096 | JIS- L1096 | JIS- K6301 | OWN METHOD |
(物理性质数据只是测定数值，不作为规格数值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
产品特点:
v 材料的亲水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性）出众.
v 基层纤维厚度的均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一
v 起泡的泡囊长度均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形状均一性:
抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高
v 起泡的泡囊的开口口径均一性:
抛光效率均一性高
v 基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越，抛光效率高
v 绒毛长度更长,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度
v 兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片的精抛光用